| 基于SILVACO的铁电场效应管性能分析 |
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| 引用本文： | 张振娟,王强,施敏,陆健.基于SILVACO的铁电场效应管性能分析[J].黑龙江大学自然科学学报,2011,28(6):863-866. |
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| 作者姓名： | 张振娟 王强 施敏 陆健 |
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| 作者单位： | 南通大学电子信息学院,南通,226019 |
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| 基金项目： | 江苏省自然科学基金资助项目，南通市应用研究计划资助项目 |
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| 摘 要： | 针对铁电器件制备过程中,由铁电材料对工艺的敏感性导致铁电器件难以进行系统研究的困难,提出了应用SILVACO软件以铁电材料的实际测试结果为仿真基准,通过材料参数有限且系统的变化,研究不同的材料参数对器件性能的影响的研究方法.通过应用该仿真方法研究基于PZT栅极材料的MIFIS结构的铁电场效应晶体管的最佳漏极电流与铁电栅...
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| 关 键 词： | 仿真设计 铁电场效应晶体管 铁电材料 |
The ferroelectric field effect transistor programming research on SILVACO |
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| ZHANG Zhen-juan,WANG Qiang,SHI Min,LU Jian.The ferroelectric field effect transistor programming research on SILVACO[J].Journal of Natural Science of Heilongjiang University,2011,28(6):863-866. |
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| Authors: | ZHANG Zhen-juan WANG Qiang SHI Min LU Jian |
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