半导体制造系统基于资源的Petri网调度优化 |
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作者姓名: | 邵志芳 刘仲英 |
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作者单位: | 1. 同济大学,经济与管理学院,上海,200092;上海财经大学,信息管理与工程学院,上海,200433 2. 同济大学,经济与管理学院,上海,200092 |
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基金项目: | 国家自然科学基金
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中国博士后科学基金 |
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摘 要: | 对半导体制造系统调度难点,分两步予以解决:第一步,提出三种策略解决系统建模问题,包括基于资源的Petri网模型构建模式,对系统结构建模;引入整合性定义方法对系统功能建模;以及通过多种变迁种类的引入实现对系统行为建模.第二步,在此模型基础上,引入蚁群优化算法对模型求调度优化解.与仿真结果的对比显示此方案取得了明显效果.
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关 键 词: | 半导体制造 建模 Petri网 整合性定义方法论 调度 半导体 制造系统 基于资源 Petri 调度优化 Systems Fabrication Wafer Optimization 明显效果 方案 显示 仿真结果 优化解 模型基 蚁群优化算法 行为建模 种类 变迁 功能建模 |
文章编号: | 0253-374X(2008)05-0674-06 |
修稿时间: | 2006-09-26 |
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