MIS结构AES分析及电流输运对表面和界面依赖关系的研究 |
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引用本文: | 刘光廷,许健,简耀光.MIS结构AES分析及电流输运对表面和界面依赖关系的研究[J].东南大学学报(自然科学版),1983(4). |
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作者姓名: | 刘光廷 许健 简耀光 |
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摘 要: | 借助于俄歇电子能谱分析,结合氩离子溅射剥蚀,对全面积超薄铝膜的AI/S_iO_x/S_iMIS结构太阳电池的纵向组份分布进行了研究。结果表明,实际的纵向结构为AI/AI_2O_3(+S_i)/S_i。定性地分析了MIS结构中的电流输运对界面和表面的依赖关系从而解释了器件宏观电学参数的稳定性。
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