不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构与性能的影响 |
| |
引用本文: | 张川,刘婵,李昊,黄美东.不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构与性能的影响[J].天津师范大学学报(自然科学版),2018(4). |
| |
作者姓名: | 张川 刘婵 李昊 黄美东 |
| |
作者单位: | 天津师范大学物理与材料科学学院 |
| |
摘 要: | 为研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响,采用电弧离子镀技术在Si(100)、不锈钢和高速钢基底表面沉积TiN/Ag多层膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射仪(XRD)、XP-2台阶仪、维氏硬度计和摩擦磨损仪研究不同调制周期对TiN/Ag多层膜表面形貌、微观结构、厚度、显微硬度和摩擦系数的影响,并采用大肠杆菌实验对多层膜的抗菌性能进行研究.结果表明:TiN/Ag多层膜为面心立方结构,膜层由TiN和Ag交替组成,不存在其他杂相,多层膜具有TiN(111)晶面和Ag(111)晶面择优生长;随着调制周期的减小,多层膜表面更加平整、光滑,硬度逐渐增大,最大达到1 150.5 HV,摩擦系数先增大后减小,最小为0.189,抗菌性能逐渐减弱.
|
本文献已被 CNKI 等数据库收录! |
|