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| 软X射线宽带多层膜设计与实验 | |
| 作者姓名： | 王占山 柯常军 马月英 张铁强 曹健林 陈星旦 |
| 作者单位： | [1]中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实 [2]吉林工业物理系 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金!(批准号 :6 97780 2 6 ) |
| 摘 要： | 以周期膜理论为基础，改进了已有的设计方法，采用随机数的方法在１８￣２０ｎｍ波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜，理论上得到了高于周期膜系８％的积发反射率。同时给出了整体的设计步骤，并用磁控溅方法对其进行了制备。 |
| 关 键 词： | 软X射线 多层膜 随机数 磁控溅射 反射率 制备 |
| 收稿时间： | 1998-10-24 |
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