| 采用MOD工艺制备PZT铁电薄膜及其性能 |
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| 引用本文： | 张之圣,李霄云,陈金亭,刘如净.采用MOD工艺制备PZT铁电薄膜及其性能[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2000,33(3):378-381. |
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| 作者姓名： | 张之圣 李霄云 陈金亭 刘如净 |
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| 作者单位： | :张之圣（天津大学电子信息工程学院，天津
300072）;李霄云（天津大学电子信息工程学院，天津 300072）;陈金亭（天津大学电子信息工程学院，天津 300072） |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金! (98360 12 11) |
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| 摘 要： | 研究了采用金属有机化合物热分解（ＭＯＤ）法制备锆钛酸铅Ｐｂ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）Ｏ３铁电薄膜的工艺及ＰＺＴ薄膜的介电性能，利用ＸＲＤ分析了薄膜的结晶过程，制得具有钙钛矿结构的ＰＺＴ薄膜，铂电极有利于钙钛矿相的形成，薄膜的介电温谱研究结果表明，薄膜的居里温度约为４３０℃（１ＫＨｚ）。
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| 关 键 词： | 金属有机化合物 锆钛酸铅 铁电薄膜 MOD工艺 |
| 修稿时间： | 1998-11-05 |
STUDY ON PREPARATION AND PROPERTIES of Pb (Zr0.52Ti0.48)O3 FERROELECTRIC THIN FILMS BY MOD PROCESS |
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| ZHANG Zhi-sheng,LI Xiao-yun,CHEN Jin-ting,LIU Ru-jing.STUDY ON PREPARATION AND PROPERTIES of Pb (Zr0.52Ti0.48)O3 FERROELECTRIC THIN FILMS BY MOD PROCESS[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2000,33(3):378-381. |
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| Authors: | ZHANG Zhi-sheng LI Xiao-yun CHEN Jin-ting LIU Ru-jing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | metallo organic compound lead zirconate titanate ferroelectric thin films |
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