| 基于原子力显微镜的纳米梁杨氏模量的测量 |
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| 引用本文： | 徐临燕,栗大超,胡小唐,黄玉波.基于原子力显微镜的纳米梁杨氏模量的测量[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2007,40(7):816-820. |
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| 作者姓名： | 徐临燕 栗大超 胡小唐 黄玉波 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 阐述了基于原子力显微镜(AFM)的弯曲测试测量纳米梁杨氏模量的理论和方法.重点解决了纳米梁杨氏模量测试技术中的3个关键问题:①宽梁条件下杨氏模量理论模型的修正;②纳米梁厚度的精密测量方法;③加载点位置相对于理想点的偏差给测试结果带来的不确定度的评价方法.实验结果表明,本测试结构硅纳米梁杨氏模量的测试值为(183.79±4.18)GPa.
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| 关 键 词： | 纳机电系统 纳米梁 杨氏模量 原子力显微镜 弯曲测试 |
| 文章编号： | 0493-2137（2007）07-0816-05 |
| 修稿时间： | 2006-11-27 |
Measurement of Young's Modulus of Nanobeam Based on AFM |
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| XU Lin-yan,LI Da-chao,HU Xiao-tang,HUANG Yu-bo.Measurement of Young''''s Modulus of Nanobeam Based on AFM[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2007,40(7):816-820. |
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| Authors: | XU Lin-yan LI Da-chao HU Xiao-tang HUANG Yu-bo |
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| Institution: | State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments, Tianjin University,Tianjin 300072, China |
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