| TiO2薄膜的半导体和气敏特性 |
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| 引用本文： | 王保国,孙倩,张金利,李(韦华). TiO2薄膜的半导体和气敏特性[J]. 天津大学学报(自然科学与工程技术版), 2007, 40(8): 887-891 |
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| 作者姓名： | 王保国 孙倩 张金利 李(韦华) |
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| 作者单位： | 天津大学化工学院 天津300072 |
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| 基金项目： | 天津市科委科技攻关计划重大资助项目 |
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| 摘 要： | 溶胶-凝胶法制备了添加聚乙二醇和Al3 的TiO2薄膜,研究了薄膜的半导体特性和气敏性.添加聚乙二醇使TiO2薄膜的荧光发射峰从未添加的650 nm蓝移至600 nm处.添加聚乙二醇(相对分子质量2000)2.0 g/100mL的TiO2薄膜在还原性气氛中电阻值增大,在350℃下薄膜对1.0×10-3(体积分数)CO的灵敏度约为3.4;进而掺杂离子半径较小的Al3 ,能够提高薄膜对CO的气敏性:在350℃时添加聚乙二醇且Al3 摩尔分数为50/0、100/0的薄膜对1.0×10-3(体积分数)CO的灵敏度分别为5.0和20.4.X射线光电子能谱表征说明,由于Al3 的晶格替代和氧间隙原子使添加有聚乙二醇和Al3 的TiO2薄膜产生以空穴为主的传导机制,表现出P型半导体特性.该研究结果对于研发TiO基的气敏传感器、新型太阳能电池具有重要意义.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 掺杂 半导体 气敏 |
| 文章编号： | 0493-2137（2007）08-0887-05 |
| 修稿时间： | 2007-02-15 |
Semiconductor and Gas-Sensing Property of TiO2 Thin Films |
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| WANG Bao-guo,SUN Qian,ZHANG Jin-li,LI Wei. Semiconductor and Gas-Sensing Property of TiO2 Thin Films[J]. Journal of Tianjin University(Science and Technology), 2007, 40(8): 887-891 |
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| Authors: | WANG Bao-guo SUN Qian ZHANG Jin-li LI Wei |
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| Affiliation: | School of Chemical Engineering and Technology, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 films dopant semiconductor gas-sensing |
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