| 低温ITO薄膜制备及光电特性的研究 |
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| 引用本文： | 林钰,李慧灵,王宇婷,辛荣生,贾晓林. 低温ITO薄膜制备及光电特性的研究[J]. 河南教育学院学报(自然科学版), 2010, 19(2): 16-17. DOI: 10.3969/j.issn.1007-0834.2010.02.006 |
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| 作者姓名： | 林钰 李慧灵 王宇婷 辛荣生 贾晓林 |
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| 作者单位： | 河南教育学院,化学系,河南,郑州,450046;郑州大学,材料工程学院,河南,郑州,450052 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射ITO陶瓷靶的低温工艺,在柔性基片上镀制ITO薄膜,研究了氧氩体积流量比、溅射气压、溅射速率等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并得到了可见光透过率大于80%,电阻率小于3.0×10-4Ω.cm的ITO薄膜.
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| 关 键 词： | 低温 ITO薄膜 电阻率 透光率 |
Preparation and photoelectric properties of the Low Temperature ITO Thin Films |
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| LIN Yu,LI Hui-ling,WANG Yu-ting,XIN Rong-sheng,JIA Xiao-lin. Preparation and photoelectric properties of the Low Temperature ITO Thin Films[J]. Journal of Henan Education Institute(Natural Science Edition), 2010, 19(2): 16-17. DOI: 10.3969/j.issn.1007-0834.2010.02.006 |
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| Authors: | LIN Yu LI Hui-ling WANG Yu-ting XIN Rong-sheng JIA Xiao-lin |
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