| 碱液刻蚀的多晶硅不同晶面微结构实验研究 |
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| 引用本文： | 王坤霞,冯仕猛,徐华天,田嘉彤,杨树泉,黄建华,裴骏.碱液刻蚀的多晶硅不同晶面微结构实验研究[J].中国科学:信息科学,2012(6):643-648. |
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| 作者姓名： | 王坤霞 冯仕猛 徐华天 田嘉彤 杨树泉 黄建华 裴骏 |
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| 作者单位： | [1]上海交通大学物理系,上海200240 [2]上海航天技术研究院,上海200235 [3]上海交通大学林洋太阳能光伏研发中心,上海201109 [4]上海神舟新能源发展有限公司,上海201112 |
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| 基金项目： | 上海航天基金（批准号：GC072003）资助项目 |
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| 摘 要： | 多晶硅碱液刻蚀技术一直是多晶硅太阳能电池研究的关键性技术之一.在普通的碱刻蚀液中加入一种添加剂,在温度78~80°C之间刻蚀多晶硅表面20min,用SEM观察多晶体硅表面结构.在多晶硅表面上首次观察到了碱液刻蚀出的密集均匀分布的陷阱坑,只是样品不同晶面上的陷阱坑形貌稍有不同.100]晶面上主要由纵横交错的致密的小硅山脉构成,小硅山脉之间存在长长的峡谷式的陷阱坑（沟）;110]晶面上密布大量的畸变三角形陷阱坑或矩形坑（洞）;111]晶面则分布蚯蚓状的陷阱坑.用积分反射仪测量了样品表面光反射率,在400~900nm波段平均反射率下降到20.5%.实验研究表明：添加剂能调节碱的刻蚀特性,经过添加剂调剂的碱液能在多晶硅表面刻蚀出具有良好陷光效应的绒面,添加剂调节的碱液刻蚀技术是一种有前途的多晶硅制绒技术.
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| 关 键 词： | 多晶硅 化学刻蚀 表面结构 陷光效应 反射率 |
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