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驻极体式微型发电机的研究进展
引用本文:杨兆辉,王婧,张锦文.驻极体式微型发电机的研究进展[J].中国科学:信息科学,2012(3):241-247.
作者姓名:杨兆辉  王婧  张锦文
作者单位:北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京100871
基金项目:国家重点基础研究发展计划(“973”计划)(批准号:2009cB320300)资助项目
摘    要:随着电子系统的尺寸不断减小,研制体积小、重量轻、能量密度高并且能够持续供能的微型发电机将对电子系统具有重要意义.振动能在日常环境中广泛存在,振动能微型发电机是将振动能转化成能给电子系统供能的装置.驻极体式微型发电机是振动能采集微型发电机的一种,是目前微能源研究的热点之一.本文主要从驻极体材料及注极方法、振动能拾取方式和转换效率的提高3个方面介绍了驻极体式微型发电机的最新进展.

关 键 词:驻极体微  型发电机  振动能量采集
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