| 热处理对PZT薄膜织构形成的影响 |
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| 引用本文： | 刘翠华,王久石.热处理对PZT薄膜织构形成的影响[J].四川师范大学学报(自然科学版),2008,31(1):114-117. |
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| 作者姓名： | 刘翠华 王久石 |
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| 作者单位： | 西华大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610039 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 分别采用传统热处理(CFA)和快速热处理(RTA)对室温溅射在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上的Pb(Zr,Ti)O3 (PZT)进行了晶化处理.结果表明:RTA倾向于形成(111)占优取向,而CFA倾向于形成(100)占优取向.不同工艺条件下的取向选择来源于形核机制的不同.在CFA条件下,形核在薄膜表面的PbO(100) 处发生,导致(100)占优取向;在RTA条件下,形核在基片附近的Pt3Pb(111)/PZT界面处发生,导致(111)占优取向.铁电性能测试表明,由RTA处理得到的具有(111)占优取向的PZT薄膜剩余极化达到35 μC/cm2.
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| 关 键 词： | Pb(Zr Ti)O3 热处理 薄膜取向 铁电性 快速热处理 薄膜表面 织构形成 影响 PZT Thin Films Texture Formation Annealing 剩余极化 电性能测试 界面 发生 形核机制 工艺条件 来源 选择 取向 倾向 结果 晶化处理 室温 |
| 文章编号： | 1001-8395（2008）01-0114-04 |
| 收稿时间： | 2006-05-01 |
| 修稿时间： | 2006年5月1日 |
Effect of Annealing on the Texture Formation in PZT Thin Films |
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| LIU Cui-hua,WANG Jiu-shi.Effect of Annealing on the Texture Formation in PZT Thin Films[J].Journal of Sichuan Normal University(Natural Science),2008,31(1):114-117. |
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| Authors: | LIU Cui-hua WANG Jiu-shi |
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