| 三维互连电阻解析与边界元耦合提取方法 |
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| 引用本文： | 王习仁,喻文健,王泽毅.三维互连电阻解析与边界元耦合提取方法[J].清华大学学报(自然科学版),2004,44(9):1277-1281. |
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| 作者姓名： | 王习仁 喻文健 王泽毅 |
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| 作者单位： | 清华大学,计算机科学与技术系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家“八六三”高技术项目 ( 2 0 0 2 AA1Z14 60 SOC) |
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| 摘 要： | 随着深亚微米工艺的广泛应用 ,互连结构日趋复杂 ,现有的互连电阻二维提取已难满足精度要求。该文提出三维解析与边界元耦合提取方法 ,它非均匀地切割互连线 ,对直线段用解析公式计算 ,对有复杂连接关系的线段用改进边界元法计算 ,再将两者耦合成整体电阻。对版图实例的实验表明 ,与商业软件 Raphael相比 ,该方法有 2～ 3个数量级的加速比 ,使用的内存是商业软件的 0 .1%～ 1% ,精度比默认网格划分时的 Raphael还要高 ,证实该方法是快速精确的
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| 关 键 词： | 超大规模集成电路 互连电阻 三维提取 解析与边界元 耦合 |
| 文章编号： | 1000-0054(2004)09-1277-05 |
| 修稿时间： | 2003年6月9日 |
Coupled analytical and boundary element method for 3-D interconnecting resistance calculations |
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| WANG Xiren,YU Wenjian,WANG Zeyi.Coupled analytical and boundary element method for 3-D interconnecting resistance calculations[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2004,44(9):1277-1281. |
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| Authors: | WANG Xiren YU Wenjian WANG Zeyi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | very large scale integration interconnecting resistance 3-D extraction analytical and boundary element methods coupling |
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