不同梳齿形状的微纳力测量装置研究

梳齿电容是微电子机械系统中所广泛使用的结构,在微纳力测量装置中具有重要作用。针对微纳力测量装置中所使用的不同梳齿结构,利用数值模拟的方法,分析了不同形状梳齿作为微纳力测量装置时,在不同相对位置对微纳力测量结果的影响。研究结果表明,加载电压、梳齿相交长度以及梳齿间距偏移对不同梳齿形状的微纳力测量装置输出的影响明显不同,各梳齿形状输出微纳力的变化特性为微纳力测量装置的设计与制造提供了科学依据。