| 激光切割对金刚石膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 崔文秀,吴晓波,蔡云虹,罗廷礼.激光切割对金刚石膜性能的影响[J].河北省科学院学报,2004,21(3):36-38. |
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| 作者姓名： | 崔文秀 吴晓波 蔡云虹 罗廷礼 |
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| 作者单位： | 河北省科学院激光研究所,河北,石家庄,050081;河北省科学院激光研究所,河北,石家庄,050081;河北省科学院激光研究所,河北,石家庄,050081;河北省科学院激光研究所,河北,石家庄,050081 |
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| 摘 要： | 研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响。选择合适的激光 切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的 方法。
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| 关 键 词： | CVD 金刚石膜 激光损伤 三点弯曲断裂强度 热导率 |
| 文章编号： | 1001-9383(2004)03-0036-03 |
| 修稿时间： | 2004年4月8日 |
Effect of laser cutting on the capabilities of diamond film |
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| CUI Wen-xiu,WU Xiao-bo,CAI Yun-hong,LUO Ting-li.Effect of laser cutting on the capabilities of diamond film[J].Journal of The Hebei Academy of Sciences,2004,21(3):36-38. |
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| Authors: | CUI Wen-xiu WU Xiao-bo CAI Yun-hong LUO Ting-li |
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| Abstract: | The effect of laser cutting to CVD diamond films on thermal conductivity and three point bending strength is studied. The laser damage can be avoided by choosing a appropriate cutting voltage and speed. A method which can judge the cutting voltage and speed is also given. |
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| Keywords: | CVD diamond Three point bending fracture strength Thermal conductivity Laser damnify |
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