高质量单层MoS2的APCVD生长及光电性能研究 |
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引用本文: | 祝祖送,尹训昌,尤建村.高质量单层MoS2的APCVD生长及光电性能研究[J].安庆师范学院学报(自然科学版),2019,25(3). |
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作者姓名: | 祝祖送 尹训昌 尤建村 |
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作者单位: | 安庆师范大学物理与电气工程学院,安徽安庆,246133;安庆师范大学物理与电气工程学院,安徽安庆,246133;安庆师范大学物理与电气工程学院,安徽安庆,246133 |
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基金项目: | 安徽省高等学校自然科学研究重点项目;教育部卓越工程师教育培养计划项目产学合作协同育人项目;安庆师范大学资助项目;安庆师范大学物理与电气工程学院资助项目 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 二硫化钼 化学气相沉积 晶化质量 均匀性 |
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