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| 一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计 | |
| 引用本文： | 吴凌慧,徐冬.一种耐高温、耐恶劣环境大压力传感器的设计[J].应用科技,2018(4). |
| 作者姓名： | 吴凌慧 徐冬 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
| 摘 要： | 为了解决高温恶劣环境下压力测量问题,设计了一种大压力、高过载、耐高温、耐恶劣环境的小体积压差传感器。通过有限元分析对传感器绝缘体上硅(silicon on insulator,SOI)压力敏感膜片结构进行优化设计,使其能够满足恶劣环境的使用要求。通过试验证明这种压差传感器具有良好的耐高温、耐恶劣环境的特性。 |
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