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| 射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究 | |
| 引用本文： | 霍伟刚,杨艳,刘成森,丁振峰.射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究[J].辽宁师范大学学报(自然科学版),2008,31(2):158-161. |
| 作者姓名： | 霍伟刚 杨艳 刘成森 丁振峰 |
| 作者单位： | 1. 辽宁师范大学,物理与电子技术学院,辽宁,大连,116029 2. 大连水产学院,生命科学技术学院,辽宁,大连,116023 3. 大连理工大学,物理系,辽宁,大连,116024 |
| 摘 要： | 在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释. |
| 关 键 词： | 射频等离子体 调谐基片自偏压 正反馈 |
The further research of the tuned substrate self-bias in a radio-frequency inductively coupled plasma |
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| HUO Wei-gang,YANG Yan,LIU Cheng-sen,DING Zhen-feng.The further research of the tuned substrate self-bias in a radio-frequency inductively coupled plasma[J].Journal of Liaoning Normal University(Natural Science Edition),2008,31(2):158-161. | |
| Authors: | HUO Wei-gang YANG Yan LIU Cheng-sen DING Zhen-feng |
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