| 高温超导薄膜红外探测器研究 |
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| 引用本文： | 何军锋. 高温超导薄膜红外探测器研究[J]. 陕西理工学院学报(自然科学版), 1999, 0(4) |
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| 作者姓名： | 何军锋 |
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| 作者单位： | 陕西工学院基础课部!陕西汉中723000 |
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| 摘 要： | 文章系统阐述了高Tcbolometer的工作原理及性能优势;简要介绍了采用负胶光刻和湿法(化学)刻蚀技术在5×10mm2GdBa2Cu3O7-x薄膜上制备2×2阵列高Tcbolometer器件的工艺过程;并对此工艺优劣性进行了分析。
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| 关 键 词： | 超导 bolometer 负胶光刻 化学刻蚀 |
High Tc bolometer |
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| HE Jun_feng. High Tc bolometer[J]. Journal of Shananxi University of Technology(Natural Science Edition), 1999, 0(4) |
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| Authors: | HE Jun_feng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | super_conductive bolometer negative-working photoresist chemical film corrosion |
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