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| 磁控溅射技术在刀具涂层中的应用 | |
| 引用本文： | 闫继超.磁控溅射技术在刀具涂层中的应用[J].科技信息,2009(22):282-283. |
| 作者姓名： | 闫继超 |
| 作者单位： | 河南煤炭建设集团有限责任公司焦作弹簧分公司; |
| 摘 要： | 磁控溅射作为一种应用广泛的真空镀膜技术，被普遍和成功地应用于许多方面，如材料表面处理、微电子、光学薄膜等，目前磁控溅射技术应用的领域还在不断扩展。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射技术 应用 刀具涂层 真空镀膜技术 材料表面处理 光学薄膜 微电子 |
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