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面向21世纪的硅深亚微米集成电路若干科学技术问题

引用本文：	王阳元.面向21世纪的硅深亚微米集成电路若干科学技术问题[J].世界科技研究与发展,1996,18(3):49-54.

作者姓名：	王阳元

摘要：
关键词：	硅深亚微米技术集成电路制造
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