| 激光投影成像精密定位工作台的研究 |
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| 引用本文： | 宋超,周金运,王鲁宾. 激光投影成像精密定位工作台的研究[J]. 科技信息, 2007, 0(33) |
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| 作者姓名： | 宋超 周金运 王鲁宾 |
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| 作者单位： | 广东工业大学物理与光电工程学院 广东广州510006 |
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| 基金项目： | 广州市科技计划资助项目(2006Z3一D0041)，广东省自然科学基金(07001789)。 |
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| 摘 要： | 在激光步进扫描投影成像设备中,高精密工作台则是系统中的一个重要组成部分。精密工作台系统包括宏动工作台和精动系统,宏动工作台包括精密机械及其传动系统,直线电机和步进伺服电机驱动系统及计算机控制系统;精动系统包括压电陶瓷驱动和执行放大以及计算机控制系统。由激光测长控制系统提供宏、精动系统的超精密位置检测和闭环反馈。
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| 关 键 词： | 工作台 精密定位 减振 激光干涉系统 |
The research of precision positioning stage of Laser projection imaging equipment |
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| SONG Chao,ZHOU Jin-yun,WANG Lu-bin. The research of precision positioning stage of Laser projection imaging equipment[J]. Science, 2007, 0(33) |
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| Authors: | SONG Chao ZHOU Jin-yun WANG Lu-bin |
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| Abstract: | Step-scanning and projection image equipment,high-precision location stage is the important component.Precision stage including rough stable and slightly stable systems,including the table of precision machinery and transmission system,linear motor and stepper motor drive system and the computer control system;Slightly stable systems include piezoelectric ceramic driving and implementation of amplification.Measuring by the laser length Measurement and control systems,precision motion system of the ultra-precision position detection and closed-loop feedback. |
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| Keywords: | Work table Precise localization libration Reduce Laser interference system |
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