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| Al的沉积速率对Al/Ge双层膜分形晶化的影响 | |
| 作者姓名： | 李伯泉 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学基础物理中心 合肥230026(李伯泉)，中国科学技术大学基础物理中心 结构分析开放研究实验室(王兵)，结构分析开放研究实验室 合肥230026(张庶元)，中国科学技术大学基础物理中心 结构分析开放研究实验室(刘文汉)，中国科学技术大学基础物理中心 合肥230026(吴自勤) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国科学技术大学基金资助项目 |
| 摘 要： | Al/Ge薄膜中斑图(pattern)的形成是一种非平衡生长现象,随着非线性科学的发展,近年来这方面的工作引起了人们极大的兴趣.较有代表性的工作如Deutscher和Lereah在原位退火Al-Ge非晶合金膜时发现的密集分叉形貌(Dense branching morphology),Sanchez等人观察到的多标度分形生长等.由于非线性系统对初始生长条件、边界条件细微变化固有的敏感性,不同形貌班图精确的形成条件是难以预测的,即使在相同的实验条件下,可能观察到 |
| 关 键 词： | 铝 硒 双层膜 沉积速率 晶化 分形 |
| 收稿时间： | 1994-12-21 |
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