|
|||||
|
|
| A—Si：H磷掺杂固相效率 | |
| 引用本文： | 颜一凡.A—Si：H磷掺杂固相效率[J].湖南大学学报(自然科学版),1997,24(1):15-17,28. |
| 作者姓名： | 颜一凡 |
| 摘 要： | 证明了ａ－Ｓｉ：Ｈ磷掺杂固相效率η可表示成磷气相浓度的解析函数，其系数可由磷掺杂饱和极限，悬挂键密度和带尾态电子密度等的实验值决定。 |
| 关 键 词： | 磷 掺杂 固相效率 解析函数 硅 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《湖南大学学报(自然科学版)》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《湖南大学学报(自然科学版)》下载免费的PDF全文 | |