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氙离子束辅助沉积氮化钛薄膜的机械性能

引用本文：	王曦,杨根庆.氙离子束辅助沉积氮化钛薄膜的机械性能[J].科技通讯(上海),1991(3):9-13.

作者姓名：	王曦杨根庆

摘要：
关键词：	氮化钛薄膜离子束辅助沉积
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