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| 显微结构的激光化学 | |
| 引用本文： | BMS,臧友松.显微结构的激光化学[J].世界科学,1981(11). |
| 作者姓名： | BMS 臧友松 |
| 摘 要： | 微电子学线路的复杂性正在迅速增长,这使集成电路的设计者和制造者面临着一些新的技术上的困难。到八十年代末,在单个集成电路块上堆积上百万个逻辑门电路也许同样是可能的。但是,无缺陷集成块的产率会随着组件数的越来越大而急剧下降。用现行的平版印刷技术少量生产定制线路常常是不经济的,因而人们普遍感到半导体工业不能满足对这样线路的需要。此外,这些平版印刷程序不能生产大于几平方英寸的大面积集成电路,而且它们周转时间缓慢,从而阻碍人们进行越来越微型化 |
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