| 2kW TE CO_2激光器放电等离子化学过程的四极质谱研究 |
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| 引用本文： | 赵维义,邹畹珍,范永昌,李锋. 2kW TE CO_2激光器放电等离子化学过程的四极质谱研究[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1993, 0(4) |
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| 作者姓名： | 赵维义 邹畹珍 范永昌 李锋 |
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| 作者单位： | 华中理工大学物理系(赵维义，邹畹珍)，华中理工大学激光技术国家实验室(范永昌)，华中理工大学激光技术国家实验室(李锋) |
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| 摘 要： | 用四极质谱定量分析方法观察了2kW TE CO_2激光器放电过程等离子化学现象.在16mA/cm~2电流密度条件下,CO_2分解量为初始注入量的20%,停止放电后基本恢复.系统达到均匀平稳约需半小时.CO_2的分解使输出功率约下降1.5%.输出功率随工作气体温度上升里线性下降趋势,下降速度约为38W/℃.未明显见到有害的NO_x生成.
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| 关 键 词： | TE CO_2激光器 四极质谱 等离子体 |
A Study of the Chemical Reaction of Discharge Plasma in a 2kW TE CO_2 Laser by Quadripole Mass Spectroscopy |
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| Zhao Weiyi Zou Wanzhen Fan Yongchang Li Feng. A Study of the Chemical Reaction of Discharge Plasma in a 2kW TE CO_2 Laser by Quadripole Mass Spectroscopy[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1993, 0(4) |
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| Authors: | Zhao Weiyi Zou Wanzhen Fan Yongchang Li Feng |
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| Affiliation: | Zhao Weiyi Zou Wanzhen Fan Yongchang Li Feng |
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| Keywords: | TE CO2 laser quadripole mass spectroscopy plasma |
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