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| 湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导 | |
| 引用本文： | 谷珍杰,温旭杰,张维佳,华平壤,饶前程,黄颖.湿法刻蚀制备铌酸锂锥形脊波导[J].天津科技大学学报,2022(2):57-60. |
| 作者姓名： | 谷珍杰 温旭杰 张维佳 华平壤 饶前程 黄颖 |
| 摘 要： | 采用由质子交换辅助湿法刻蚀技术,在Z切铌酸锂晶体上成功制备锥形脊波导.该波导脊高为1.2μm、脊宽从4μm增大至8μm,插入损耗4.4 dB.波导表面光滑,表面粗糙度为0.84 nm,没有出现塌边或横向刻蚀的现象.波导宽度从4μm增大至8μm,模式尺寸在水平方向上从4.3μm增大至6.8μm,在垂直方向上从3.2μm增... |
| 关 键 词： | 质子交换 铌酸锂 锥形结构 湿法刻蚀 脊波导 |