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| 反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用 | |
| 摘 要： | 专利申请号：CN200610013056．6
本发明涉及反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用，组成为Fex（TiO2）1-x，其中X为铁的金属颗粒所占的体积百分比，0．40〈x〈0.76。本发明是采用直流磁控溅射技术，在氩气和氧气的混合气氛中，控制铁靶的溅射功率沉积。基片为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等，溅射时基片不加热。第一段] |
| 关 键 词： | 反铁磁耦合 薄膜材料 磁性颗粒 应用 制备 磁控溅射技术 专利申请号 金属颗粒 |
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