| 基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工 |
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| 引用本文： | 赵龙,张斌珍,段俊萍,崔建利. 基于紫外厚胶的微悬臂结构设计与加工[J]. 科学技术与工程, 2015, 15(30) |
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| 作者姓名： | 赵龙 张斌珍 段俊萍 崔建利 |
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| 作者单位： | 电子测试技术重点实验室,电子测试技术重点实验室,电子测试技术重点实验室,电子测试技术重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学(61401405)；国家自然科学(51475438)； 山西省基础研究项目(2014011021-4)；新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862) |
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| 摘 要： | 研究了一种以SU-8光刻胶为结构材料的微悬臂结构。通过控制紫外光刻过程中的曝光剂量,仅仅使光刻胶的上部分发生交联,下部分的光照强度不足以发生交联反应,制作了厚度从149μm到345μm不等的微悬臂结构,并通过分析得出了悬臂厚度与曝光剂量的关系式。结果显示,采用该方法所制作的悬臂结构具有质量轻、价格便宜、操作灵活性大等特点,为制作出复杂的三维空间悬臂结构奠定了基础。与传统以硅或金属材料为基础的微悬臂相比,能够更好地适应目前微型传感器的发展趋势,具有非常广阔的发展空间。
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| 关 键 词： | 微悬臂梁 曝光剂量 SU-8 交联反应 紫外光刻 |
| 收稿时间： | 2015-06-26 |
| 修稿时间： | 2015-09-29 |
The design and manufacture of micro cantilever based on thick photoresist |
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| Long Zhao,Junpin Duan and Jianli Cui. The design and manufacture of micro cantilever based on thick photoresist[J]. Science Technology and Engineering, 2015, 15(30) |
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| Authors: | Long Zhao Junpin Duan Jianli Cui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-cantilever Exposure dose SU-8 Cross-linking reaction UV lithography |
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