| 降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法 |
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| 引用本文： | 董玮,阮圣平,张歆冬,刘彩霞,张龙,陈维友.降低扭臂结构微机械光开关驱动电压的新方法[J].吉林大学学报(信息科学版),2003,21(1):1-3. |
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| 作者姓名： | 董玮 阮圣平 张歆冬 刘彩霞 张龙 陈维友 |
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| 作者单位： | 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69937010)，吉林省科学计划发展项目(20010319)，863计划资助项目(2002AA312023) |
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| 摘 要： | 利用机械和电学特性，推导出悬梁的位移与外加电压之间的关系，指出外加电压与扭臂厚度的3次方成正比，随上下电极之间距离的减小而降低。提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构，该结构可以通过具有倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀得到。理论分析表明，倾斜下电极结构可以使阈值电压从60V降低到32V。
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| 关 键 词： | 微机械光开关 驱动电压 静电驱动 扭臂结构 阈值电压 化学腐蚀 光通信 |
| 文章编号： | 1671-5896(2003)01-0001-03 |
| 修稿时间： | 2002年8月23日 |
Method for decreasing drive voltage of micromechanical optical switches in torsion beam structure |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micromechanical Optical switches Electrostatic drive Torsion beam Threshold-voltage |
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