蓝宝石晶体生长过程中晶体畸形现象的实验研究

采用提拉法生长大尺寸蓝宝石的过程中,经常遇到晶体畸形而使生长失败问题。通过改进工艺多炉次的实验研究,分别分析在提拉过程中的下种、放肩、等径阶段产生畸形晶体的原因。指出在晶体生长过程中提拉速度的工艺参数的设定不合适是畸形形成的主要原因之一。同时,在装炉阶段注重温场对称性是保证晶体正常生长必要条件。