基于闭环加速度检测系统的MEMS加速度传感器模型 |
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引用本文: | 黄廷昭,童成盛,万培元,林平分.基于闭环加速度检测系统的MEMS加速度传感器模型[J].科技信息,2014(11):70-72. |
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作者姓名: | 黄廷昭 童成盛 万培元 林平分 |
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作者单位: | 北京工业大学北京市嵌入式系统重点实验室; |
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摘 要: | 本文针对体硅梳齿结构的电容式加速度传感器进行建模,考虑到了极板间静电力影响,对闭环反馈式加速度检测系统的设计及调节提供了可能及便利;基于VerilogA对该模型进行描述,使其能够和主流的IC电路设计工具进行兼容,对于系统功能搭建及性能的调节具有直接性,便利性。根据仿真结果表明,该模型如实反映了MEMS电容式加速度计的工作状态,尤其对闭环加速度计检测系统的设计提供有效的帮助。
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关 键 词: | MEMS加速度计 VerilogA 静电力 闭环反馈 |
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