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薄膜厚度的电子探针测定技术
引用本文:姚琲.薄膜厚度的电子探针测定技术[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),1989(4).
作者姓名:姚琲
作者单位:天津大学分析中心
摘    要:0 前言Yakowitz-Newbury模型是用抛物线——指数曲线近似地代替x射线产生强度φ((?)z)曲线,如图1。这条曲线由(0,φ_0)开始,沿抛物线通过其极值点(h,k)到(1.5h,0.25φ_0 3k]),再由此点沿指数曲线到(ρz_r,0.25φ_0 3k]exp-2])为止。该曲线的函数表达式为

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