微细加工技术发展研究 |
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引用本文: | 谢常青,陈梦真.微细加工技术发展研究[J].科技导报(北京),1995(1):36-37,14. |
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作者姓名: | 谢常青 陈梦真 |
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作者单位: | 中国科学院微电子中心 |
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摘 要: | 微细加工技术发展研究ResearchonMicrofabricationTechnology谢常青,陈梦真(中国科学院微电子中心,北京100010)微细加工技术是集成电路(IC)工业的基础,是半导体器件研究的必要手段。其中的IC以动态随机存储器(DR...
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关 键 词: | 微细加工技术 发展 集成电路 半导体 |
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