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| 实用专利 | |
| 摘 要： | 基于离子电导的电化学微细加工方法及装置专利申请号：98104705该装置采用金属电极置于充满电解液的毛细管中所组成的加工电极作为阳极，被加工样品置于充满电解液的电解槽中，作为阴级，加工电极横向扫描被加工样品表面时，基于加工电极与被加工样品之间的离子电导变化，利用反馈系统控制两者的间距，当加工电极与被加工样品之间施加直流电压时，在被加工样品表面析出所需的点、线、面图案。本方法及装置原理先进，加工集成度高，为超大规模集成电路的制作提供了新的基础。联系地址：（310027）浙江省杭州市玉古路20号浙江大学联系人：章海… |
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