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离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量

引用本文：	郭怀喜,范湘军.离子束混合AL—Mn非晶溥膜电性的原位测量[J].武汉大学学报(自然科学版),1989(2):49-53.

作者姓名：	郭怀喜范湘军

摘要：
关键词：	离子束非晶溥膜原位测量混合
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