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| 铁电体薄膜 | |
| 引用本文： | 张建明,李文军.铁电体薄膜[J].太原理工大学学报,2005(Z1). |
| 作者姓名： | 张建明 李文军 |
| 作者单位： | 太原理工大学化学化工学院 太原理工大学化学化工学院 山西太原 山西太原 |
| 摘 要： | 介绍了铁电薄膜材料的种类,并且讨论了SrTiO3,BaTiO3的多种用途,提出MOVCD法具有沉积速率高,沉积均匀,适于大规模生产,可成为制备SiTiO3和BaTiO3薄膜的主要技术。为实际应用铁电薄膜材料提供了理论依据。 |
| 关 键 词： | 钛酸钡 钛酸锶 薄膜 |
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