| 圆柱腔内微波等离子体激励的研究 |
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| 引用本文： | 廖斌,张莲,安同一,朱守正.圆柱腔内微波等离子体激励的研究[J].华东师范大学学报(自然科学版),2005,2005(2):52-57. |
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| 作者姓名： | 廖斌 张莲 安同一 朱守正 |
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| 作者单位： | 华东师范大学,微波研究所,上海,200062;华东师范大学,微波研究所,上海,200062;华东师范大学,微波研究所,上海,200062;华东师范大学,微波研究所,上海,200062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(19971027,10271048) |
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| 摘 要： | 根据谐振腔理论，证明圆柱反应腔内的主模为TM01p模，并在圆柱坐标下采用FD-TD数值方法求解圆柱形反应腔中的场分布情况，改善和提高微波等离子体反应装置的激励性能.等离子体实际分布与场分布的预测结果基本吻合.
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| 关 键 词： | 微波等离子体 圆柱腔 TM01p模 FD-TD数值方法 |
| 文章编号： | 1000-5641(2005)02-0052-06 |
| 收稿时间： | 2003-11-24 |
| 修稿时间： | 2003年11月1日 |
Study on Microwave Plasma Excitation in a Cylindrical Cavity(Chinese) |
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| LIAO Bin,Zhang Lian,AN Tong-yi,ZHU Shou-zheng.Study on Microwave Plasma Excitation in a Cylindrical Cavity(Chinese)[J].Journal of East China Normal University(Natural Science),2005,2005(2):52-57. |
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| Authors: | LIAO Bin Zhang Lian AN Tong-yi ZHU Shou-zheng |
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| Institution: | Institute of Microwave，East China Normal University，Shanghai 200062，China |
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| Abstract: | According to resonant theory, it was justified that TM01p was the main mode in a cylindrical cavity . Finite difference time domain(FD-TD)in cylindrical coordinate system was used to simulate the electromagnetic field distributions inside the reactor to improve performances. The experimental results are in good agreement with the theoretical predictions. |
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| Keywords: | microwave plasma cylindrical cavity TM01p mode FD-TD numerical method |
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