| 腔体微扰法测厚度的分辨率和误差 |
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| 引用本文： | 吕文选. 腔体微扰法测厚度的分辨率和误差[J]. 厦门大学学报(自然科学版), 1989, 28(1): 39-43 |
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| 作者姓名： | 吕文选 |
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| 作者单位： | 厦门大学物理学系 |
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| 摘 要： | 讨论了用微波腔体微扰方法测厚度的分辨率.计算及实验均表明,腔体微扰方法测量厚度具有高的分辨率(0.2μm),文中分析了整机产生误差的主要原因和减小误差的方法,指出扫频源的非线性对精度和稳定性的影响。
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| 关 键 词： | 腔体微扰 厚度分辨率 误差 |
The Resolution and Error of the Thickness Measurement by Microwave Cavity Perturbation |
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| Lu Wenxuan. The Resolution and Error of the Thickness Measurement by Microwave Cavity Perturbation[J]. Journal of Xiamen University(Natural Science), 1989, 28(1): 39-43 |
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| Authors: | Lu Wenxuan |
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| Affiliation: | Dept. of Phys. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cavity perturbation Thickness resolution Error |
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