| 高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备 |
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| 引用本文： | 鲁健,褚家如.高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备[J].中国科学技术大学学报,2002,32(6):748-753. |
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| 作者姓名： | 鲁健 褚家如 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230027 |
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| 基金项目： | 中科院“百人计划”资助项目 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶技术，在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上成功制备了沿（100）晶向强烈取向的Pb(Zr0.53，Ti0.47)O3铁电薄膜。通过X-ray衍射分析，在每层膜的制备工序中，增加600℃热处理15min的工艺，可有效防止烧绿石相的出现和薄膜开裂，并促进薄膜沿（100）晶向外延生长。制得的薄膜经600℃退火4h，后，呈完全钙钛矿相，并沿（100）晶向强烈取向，原子力显微照片表明，薄膜结构致密，晶粒尺寸约为100nm。经测量，薄膜的相对介电常数高达1150，剩余极化为26μc/cm^2，矫顽场强为49kV/cm。
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| 关 键 词： | PZT铁电薄膜 溶胶－凝胶法 Pb（Fr0.53 Ti0.47）O3 微机电系统 制备工艺 铁电材料 电学性能 |
| 文章编号： | 0253-2778(2002)06-0748-06 |
Preparation of Strongly (100)-Oriented Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3(PZT) Film by Sol-Gel Method |
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| LU Jian,CHU Jia ru.Preparation of Strongly (100)-Oriented Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3(PZT) Film by Sol-Gel Method[J].Journal of University of Science and Technology of China,2002,32(6):748-753. |
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| Authors: | LU Jian CHU Jia ru |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PZT ferroelectric film sol gel method micro electromechanical system |
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