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| 纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟 | |
| 引用本文： | 李严,薛娓娓,杨延宁.纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟[J].科技资讯,2011(33):2-2. |
| 作者姓名： | 李严 薛娓娓 杨延宁 |
| 作者单位： | 延安大学西安创新学院,西安,710100 |
| 摘 要： | 金刚石具有很强的抗辐射性、耐腐蚀性能,被誉为发展前途广阔的第三代半导体材料。本文将从纳米金刚石半导体薄膜的研究现状出发,并详细分析了使用纳米金刚石薄膜压力传感器,并通过实验的方式制作与完成整个传感器的模拟实验。 |
| 关 键 词： | 金刚石 半导体 |
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