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溅射a—GeCNx:H薄膜的红外和拉曼特性
引用本文:陈光华,马书懿.溅射a—GeCNx:H薄膜的红外和拉曼特性[J].兰州大学学报(自然科学版),1993,29(4):69-72.
作者姓名:陈光华  马书懿
摘    要:本文首次报道了用溅射反应法制备的a-GeCNx:H薄膜的制备工艺、红外和拉曼谱的特性,并观测到因掺碳引起的新的N-CHn的红外吸收峰。

关 键 词:溅射法  薄膜  红外光谱  散射谱
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