| 聚酯型光致抗蚀剂合成方法的探讨 |
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| 引用本文： | 梁广和,金章岩. 聚酯型光致抗蚀剂合成方法的探讨[J]. 福建师范大学学报(自然科学版), 1986, 0(3) |
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| 作者姓名： | 梁广和 金章岩 |
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| 作者单位： | 福建师范大学高分子研究所，福建师范大学高分子研究所 |
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| 摘 要： | 为了提高聚酯型光致抗蚀剂质量,我们通过合成方法的改进,结合凝胶色谱法测定产品的分子量分布,认为产品的分子量大小和分子量分布取决于所采用的合成方法,从而直接影响光刻胶质量。改进后的合成方法,在常压下可进行反应,降底了反应温度,大大缩短反应时间,並易于控制分子量大小,制得了分子量分布较窄而对称的产品。
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A Research on Methods of Preparing Polyester Photoresist |
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| Liang Guang-he Jin Zhang-yan. A Research on Methods of Preparing Polyester Photoresist[J]. Journal of Fujian Teachers University(Natural Science), 1986, 0(3) |
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| Authors: | Liang Guang-he Jin Zhang-yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | prepare polyester photoresist polypropanediol-(1 3) cinnamylidene malonate GPC. |
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