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| 10，6μmGe－Ag－Ni空心波导射频溅射镀膜的一种新方法 | |
| 作者姓名： | 叶玉堂 叶莉娜 王瑞峰 陈冠华 沈晓 洪永和 |
| 作者单位： | 电子科技大学 |
| 基金项目： | 国防科工委和电科院资助 |
| 摘 要： | 该文提出一种射频溅射镀膜的新方法，讨论了该方法对小孔径１０．６μｍＧｅ－Ａｇ－Ｎｉ空心波导制作的意义，利用该方法已制成样品，同时给出并比较了几个不同孔径样品的光透射率． |
| 关 键 词： | Ge－Ag－Ni空心波导，10．6μm波导，射频溅射 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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