LIGA微型技术

LIGA(即平板印刷技术Lithographie、电铸板成型Galvan of ormung和制模Abformung)微型技术,被认为是大批量生产三维微型结构元件特别有发展前景和灵活的方法,它和另一种生产超小元件的硅技术相反,LIGA技术能用很多不同材料来进行生产,例如用塑料、金属或陶瓷等材料,今已在全世界得到推广。