| 双折射晶体光学波前传感器 |
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| 引用本文： | 刘晓军,高咏生,章明,李柱.双折射晶体光学波前传感器[J].华中科技大学学报(自然科学版),2004,32(7):72-74. |
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| 作者姓名： | 刘晓军 高咏生 章明 李柱 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北,武汉,430074;香港科技大学,机械工程系,香港,九龙;中原大学,机械工程系,台湾,中坜市 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (5 9975 0 35 ) |
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| 摘 要： | 提出一种新的剪切干涉光学波前传感器．利用剪切干涉原理和单轴晶体的双折射特性研制而成．其结构简单紧凑，实现完全共光路和偏振相移干涉，灵敏度可调，具有较强的抗干扰能力．论述了其工作原理，分析了其特性，给出了相应的数学模型．测试结果表明，该传感器的面形测量精度好于λ／60，重复性达到λ／100．
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| 关 键 词： | 剪切干涉 波前传感器 双折射晶体 |
| 文章编号： | 1671-4512(2004)07-0072-03 |
| 修稿时间： | 2003年12月25 |
An optical wavefront sensor by a birefringence crystalline |
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| Liu Xiaojun Gao Yongsheng Chang Ming Li Zhu Liu Xiaojun Dr., College of Mech. Sci. & Eng.,Huazhong Univ. of Sci. & Tech.,Wuhan ,China..An optical wavefront sensor by a birefringence crystalline[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,2004,32(7):72-74. |
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| Authors: | Liu Xiaojun Gao Yongsheng Chang Ming Li Zhu Liu Xiaojun Dr College of Mech Sci & Eng Huazhong Univ of Sci & Tech Wuhan China |
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| Institution: | Liu Xiaojun Gao Yongsheng Chang Ming Li Zhu Liu Xiaojun Dr., College of Mech. Sci. & Eng.,Huazhong Univ. of Sci. & Tech.,Wuhan 430074,China. |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | shearing interference wavefront sensor birefringence crystalline |
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