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| 衬底表面对成核的影响 | |
| 引用本文： | 潘志峰,李清山.衬底表面对成核的影响[J].青岛大学学报(自然科学版),2000,13(3):76-77. |
| 作者姓名： | 潘志峰 李清山 |
| 作者单位： | 曲阜师范大学物理系!曲阜 273165，曲阜师范大学物理系!曲阜 273165 |
| 摘 要： | 研究了汽相沉积过程中的衬底表面结构的成核热力学，计算了平面与凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生。指出通过人工微结构的设计。可以实现在凹结构内生长出点状结构，即在非平面上生长出点状结构阵列。 |
| 关 键 词： | 临界核 成核 凹结构 汽相沉积 薄膜 衬底表面 |
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