| 硅压阻式传感器性能影响因素的研究 |
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| 引用本文： | 朱目成,夏季,张立红,刘强.硅压阻式传感器性能影响因素的研究[J].西南科技大学学报,1999(4). |
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| 作者姓名： | 朱目成 夏季 张立红 刘强 |
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| 作者单位： | 西南工学院!四川绵阳621002(朱目成，夏季)，洛阳工业高等专科学校!河南洛阳471000(张立红)，中国空气动力研究与发展中心!四川绵阳622653(刘强) |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院院外基金 |
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| 摘 要： | 本文对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析符合较好。本文的研究对开发设计高性能敏感元件有重要的指导意义
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| 关 键 词： | 压阻式传感器 灵敏度 |
RESERCH ON THE PROPERTIES OF PIEZORESISTIVE TANSDUCER |
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| Zhu Mucheng,Xia Ji,Zhang Lihong,Liu Qiang.RESERCH ON THE PROPERTIES OF PIEZORESISTIVE TANSDUCER[J].Journal of Southwest University of Science and Technology,1999(4). |
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| Authors: | Zhu Mucheng Xia Ji Zhang Lihong Liu Qiang |
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| Institution: | Southwest Institute of Technology |
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| Abstract: | We analysis the properties of piezorsistive transducer and its influence factors and the sensitivity of the circle type sensing element, some experimental data and theory study are also worked out in this paper. |
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| Keywords: | piezoresistive transducer sensitivity |
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