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| 半导体P-N结型真空规 | |
| 引用本文： | 黄锡森 ,王先路 ,李自鹏 ,陈立仁 ,钱三德.半导体P-N结型真空规[J].合肥工业大学学报(自然科学版),1984(1). |
| 作者姓名： | 黄锡森 王先路 李自鹏 陈立仁 钱三德 |
| 摘 要： | 本文介绍在φ26mm和φ32mm N型硅片上扩散形成P-N结和电阻网络加热器,将其制成的规管接入真空系统,用U型计,复合真空计进行对比测量,得到在760～10~(-4)托范围内的校正曲线,可望作为真空测量的一种新量规。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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